Elektronenrückstreudiffraktion ist eine in der Rasterelektronenmikroskopie integrierte Beugemethode zur kristallographischen Analyse. Durch Auswertung der Kikuchi-Muster von rückgestreuten Elektronen lassen sich Phasen, Orientierungen, Texturen, Korngrenzcharaktere und lokale Fehlorientierungen mit hoher lateraler Auflösung bestimmen, was die Korrelation von Mikrostruktur und mechanischen bzw. funktionellen Eigenschaften erlaubt.