Nanoindentationsanalyse charakterisiert lokale mechanische Eigenschaften wie Härte, Elastizitätsmodul und Kriechverhalten durch Eindringen eines definierten Stempels in die Oberfläche bei Nanometer-Tiefen und Kraftauflösung. Aus Kraft-Weg-Kurven werden kontaktmechanische Parameter extrahiert, um Dünnfilme, Grenzflächen, Phasenheterogenität und Deformationsmechanismen ortsaufgelöst zu untersuchen.