Nanoindentationstests messen lokale mechanische Eigenschaften wie Martenshärte, Elastizitätsmodul und Kriechverhalten durch das Eindringen eines scharfkantigen Eindringkörpers in die Oberfläche bei Nanometer-Tiefen. Aus Kraft-Eindringtiefe-Kurven werden mittels Oliver-Pharr-Analyse Materialparameter abgeleitet. Die Methode erlaubt ortsaufgelöste Charakterisierung von Phasen, Dünnschichten und Gradientenwerkstoffen sowie Untersuchung von Zeit- und Temperaturabhängigkeit.