Dünnfilm-Beschichtungen sind Schichten mit typischer Dicke von wenigen Nanometern bis einigen Mikrometern, die mittels PVD, CVD, ALD oder Sol-Gel auf Substrate aufgebracht werden. Sie dienen zur Einstellung von Härte, Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit, optischen, elektrischen oder Diffusionseigenschaften. Kristallstruktur, Eigenspannungen, Haftfestigkeit und Grenzflächenchemie bestimmen die Funktionalität und Zuverlässigkeit im Einsatz.