Nanostrukturierung

Nanostrukturierung bezeichnet die gezielte Erzeugung von Strukturmerkmalen im Größenbereich unter 100 nm in Volumen- oder Dünnschichtwerkstoffen. Sie erfolgt top-down durch Lithographie, Ätzen und Ionenstrahlbearbeitung oder bottom-up durch Selbstorganisation, Keimbildung und kontrolliertes Wachstum. Nanoskalige Körner, Schichten, Poren oder Partikel modifizieren Versetzungsbewegung, Domänenstrukturen und Grenzflächenenergie und ermöglichen so neuartige mechanische, optische, elektrische, katalytische und biomedizinische Funktionen.