Fotolithographie

Fotolithographie ist ein strukturgebendes Verfahren, bei dem ein fotoempfindlicher Resist selektiv durch masken- oder projektionsbasierte Belichtung verändert und anschließend nass- oder trockenchemisch entwickelt wird. So entstehen Mikro- bis Nanostrukturen, die in Halbleiterfertigung, Mikrosystemtechnik und Mikrofluidik als Ätzmasken, Galvanoformen oder direkte Funktionsstrukturen für elektronische und optische Bauelemente dienen.