Die Sekundär-Ion-Massenspektrometrie (SIMS) ist ein analytisches Verfahren zur Untersuchung der Oberflächenzusammensetzung von Materialien. Durch das gezielte Abtragen von Ionen und die anschließende Massenspektrometrie werden atomare Details und Verunreinigungen aufgelöst, was eine präzise Charakterisierung von Materialoberflächen ermöglicht.