Optische Mikroskopie

Optische Mikroskopie bezeichnet bildgebende Verfahren, bei denen sichtbares oder nahes UV/NIR-Licht mit Linsen fokussiert und detektiert wird, um Mikrostrukturen zu untersuchen. In der Werkstoffwissenschaft wird sie zur Gefügeanalyse (Korngröße, Phasenverteilung, Porosität), Defektcharakterisierung und Schichtdickenbestimmung eingesetzt. Kontrast entsteht durch Reflexion, Transmission, Polarisation oder Phasenkontrast; Auflösungen bis ~200 nm sind mit hochauflösenden oder konfokalen Techniken erreichbar.

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