ICPMS-Analyse nutzt induktiv gekoppelte Plasmaquellen zur Ionisierung und Massenspektrometrie zur Detektion von Elementen bis in den Ultratracesbereich. In den Materialwissenschaften dient sie zur quantitativen Bestimmung von Legierungsgehalten, Verunreinigungen, Dotierstoffen und Korrosionsprodukten. Hohe Empfindlichkeit, Mehrfahrspektren und Isotopenanalyse ermöglichen Prozesskontrolle, Reinheitsbewertung und Schadensfallanalyse komplexer Werkstoffe.