Mehrkanal ICP‑MS verwendet mehrere Kollektoren, um Massenspektren ionisierter Proben parallel zu erfassen. In der Materialwissenschaft ermöglicht sie hochpräzise isotopenanalytische Untersuchungen von Metallen, Legierungen, Keramiken und Dünnschichten, z.B. zur Tracer‑Diffusion, Herkunftsbestimmung, Prozesskontrolle und Datierung. Die simultane Detektion reduziert Drift‑ und Fraktionierungseffekte und verbessert die Isotopenverhältnisgenauigkeit.