Oberflächenkontamination bezeichnet unerwünschte Fremdstoffe wie Partikel, Adsorbate, Oxide, organische Rückstände oder Ionen auf Werkstoffoberflächen. Sie beeinflusst Benetzbarkeit, Adhäsion, Korrosionsverhalten, Reibung, elektrische Eigenschaften und biomedizinische Verträglichkeit. Charakterisierung erfolgt etwa mittels XPS, ToF-SIMS, AES oder AFM. Das Verständnis von Kontaminationsquellen ist entscheidend für Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit von Bauteilen.