Fehleranalyse bezeichnet die systematische Untersuchung von Experimenten, Messungen oder Bauteilprüfungen auf systematische und zufällige Abweichungen, Artefakte und Unsicherheiten. In den Materialwissenschaften umfasst sie die Identifikation von Messartefakten in Mikroskopie und Spektroskopie, Auswertefehlern und Probenpräparationsartefakten. Ziel ist die Quantifizierung von Unsicherheiten, die Sicherung der Datenqualität und die korrekte Interpretation von Struktur-Eigenschafts-Beziehungen.